拋光液
納米金剛石拋光液
1.應用領域
(1)半導體晶片拋光:單晶硅片、多晶硅片、藍寶石晶片、碳化硅晶片等;
(2)磁記錄材料拋光:計算機硬盤基片、計算機硬盤磁頭等。
2.產(chǎn)品規(guī)格
產(chǎn)品類型 | 外觀 | 載體類型 |
NDS/50 | 黑色懸浮液 | 水基 |
NDS/100 | 灰色懸浮液 | 水基 |
可根據(jù)客戶特殊要求進行定制。
3.產(chǎn)品特點
(1)獨特的超分散技術使產(chǎn)品具有良好的分散效果;
(2)可達到埃級表面加工效果。
氧化硅拋光液
1.應用領域
(1)半導體晶片加工:主要包括藍寶石襯底片、碳化硅晶片、藍寶石窗口片等;
(2)陶瓷材料加工:氧化鋯指紋識別片、氧化鋯陶瓷手機后殼及其它功能陶瓷;
(3)其他材料加工:光學玻璃、金屬材料、硬質(zhì)合金等。
2.產(chǎn)品規(guī)格
產(chǎn)品類型 | 外觀 | 固含量(%wt) | pH |
SiOF/80 | 乳白色懸浮液 | 20-40 | 10-11 |
SiOF/100 | 乳白色懸浮液 | 20-40 | 10-11 |
可根據(jù)客戶特殊要求進行定制。
3.產(chǎn)品特點
(1)顆粒大小均一,拋光效率高;
(2)拋光后晶片表面粗糙度Ra<0.2nm。
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